Depositionsanlagen
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Die wirtschaftliche Bedeutung dünner Schichten (Thin films) ergibt sich aus den mit der geringen Dicke einhergehenden besonderen Eigenschaften, aus der Materialökonomie und aus den immer weiter verbesserten Verfahren zur großtechnischen Massenfertigung. Mit Hilfe der Dünnschichttechnologie lassen sich mit verschiedenen Verfahren mikrotechnische Bauteile oder andere Funktionsschichten herstellen. Typische Schichtdicken liegen im Mikrometer- und Nanometerbereich, bis hin zu monomolekularen Schichten. Das macht auch den Einsatz teurer Werkstoffe wirtschaftlich, wenn trotz geringer Mengen der gewünschte Effekt erzielt werden kann. In der Elektronik und vor allem der Halbleiterelektronik spielen dünne Schichten eine entscheidende Rolle, sie bilden die Grundlage für die Herstellung und Funktionsweise von Transistoren oder Dioden und somit für alle mikroelektronischen Produkte. Weitere wichtige Anwendungsbereiche sind elektronische Anzeigen, wie das LC-Displays oder OLED-Anzeigen, sowie die Photovoltaik, beispielsweise in Form von Dünnschichtsolarzellen oder der Deckelektrode konventioneller Solarzellen.
